真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。真空镀膜设备若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。首先，被镀膜材料表面肯定是有灰尘的，在尽量减小材料表面灰尘的前提下，我们还应当注意以下几点：

1、真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；

2、规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；

3、严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；

4、源材料符合必要的纯度要求；

5、保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；

6、降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。