在PVD真空镀膜过程中，表面的清洁处理十分重要，直接影响产品的电镀质量。进镀膜室之前必须经过认真的镀前清洗处理，表面污染来自工件的加工、输送，在包装过程中附着的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等，为避免加工时引起的不良反应，在PVD真空镀膜加工过程中，厂家一般可以通过去油或化学清洗的方法去除。

  对于已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面，应采用密封容器或保洁箱储存，减少尘垢。在新氧化铝容器中储存玻璃底板，可以将对烃类蒸汽的吸附降到Z低。这样的容器更倾向于吸附烃类。对于高不稳定性、对水汽敏感的真空镀膜加工，一般应储存在真空干燥箱中。

  采用PVD真空镀膜处理,清除镀膜室内的尘埃，设置洁净度高的工作间，保持室内高度清洁，是镀膜工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地方，除镀前要对基片、真空室各部件仔细清洗外，还要进行烘烤除气。为了防止油进入真空室，应注意油扩散泵返油，对高热能的扩散泵必须采取挡油措施。