PVD工艺中的离散过程，是将固体原材料转化为可以迁移的气相成分的步骤，常用方法有蒸发和溅射两种方法。

对此二过程的分析：质量守恒及质量迁移；能量守恒及能量迁移

蒸发过程分析

原料固相——液相——气相少数直接升华，固相——气相 如铬

原料参与相变的量：首先全部液化，然后部分汽化——感应坩埚

或者：只有一部分参与液化和汽化，其它只是受热升温——电子枪，激光

所需要的热量：固相升温热、熔化热、液相升温热、汽化潜热

热损失量：坩埚热损失

溅射过程分析

原料固相——气相，

原料参与相变的量：只有被溅射原料参与溅射过程，其它原料只是受热升温，

所需能量：材料被溅射所需能量，仅占%

损失能量：产生入射离子所消耗的能量；离子入射动能量转化为靶的热量损失